| D-semi | |
| X/Y/Z重复定位精度 X/Y/Z Repeat Position Accuracy | ±5um@3sigma(CPK≥1.33) |
| 运动驱动方法 Motion-Driven Mode | 直线电机Linear Motor(XY)+伺服电机Servo Motor（Z） |
| XY 最大速率 XY Maximum Speed | 1200mm/s |
| 点胶规模 PCB Max/Min Size | 300*200mm |
| 最小点径 | 100±20um |
| 机械形状尺寸 Machine Dimensions | 1710*1400*1880mm |